|
|
|
¡ã ´ëÇѹα¹ ¼ÒºÎÀå(¼ÒÀç‧ºÎÇ°‧Àåºñ) »ê¾÷ ¼º°ú °£´ãȸ [»çÁøÁ¦°ø = û¿Í´ë] |
´ëÇѹα¹ ¼ÒºÎÀå(¼ÒÀç‧ºÎÇ°‧Àåºñ) »ê¾÷ ¼º°ú °£´ãȸ
¹®ÀçÀÎ ´ëÅë·ÉÀº 7¿ù 2ÀÏ ¼¿ï Çѱ¹¹«¿ªÇùȸ¿¡¼ ¿¸° ´ëÇѹα¹ ¼ÒºÎÀå(¼ÒÀç‧ºÎÇ°‧Àåºñ) »ê¾÷ ¼º°ú °£´ãȸ¿¡¼ ¼ÒºÎÀå °ü·Ã ´ë‧Áß°ß‧Áß¼Ò‧¿ÜÅõ±â¾÷ 54°÷°ú ÇÔ²² Áö³ 2³âÀÇ ¼º°ú º¸°í´ëȸ¸¦ ûÃëÇÏ°í ¼ÒºÎÀå »ê¾÷ÀÇ ¹Ì·¡¿¡ ´ëÇÑ À̾߱⸦ ³ª´©¾ú´Ù.
À̳¯ ¹® ´ëÅë·ÉÀº ¸ðµÎ¸»¾¸À» ÅëÇØ “À§±â¸¦ ±âȸ·Î ¹Ù²Û ÁÖ¿ªµé°ú ÇÔ²² ¼ÒºÎÀå ÀÚ¸³ÀÇ ¼º°ú¸¦ ³ª´ ¼ö ÀÖ°Ô µÇ¾î ¸Å¿ì ±â»Ú´Ù”¸ç “¿ì¸®´Â »ó»ý°ú Çù·ÂÀ¸·Î À§±â±Øº¹ÀÇ ¼º°ø °ø½ÄÀ» ã¾Ò´Ù”°í ¸»Çß´Ù. ÀÌ¾î ¼ÒºÎÀå ±â¾÷ ´ëÇ¥µéÀÇ °æÇè´ãÀ» °øÀ¯ÇÑ µÚ, ¼ÒºÎÀå »ê¾÷ÀÇ ¹Ì·¡ ºñÀü¿¡ ´ëÇØ À̾߱âÇÏ´Â ¹æ½ÄÀ¸·Î °£´ãȸ°¡ ÁøÇàµÇ¾ú´Ù.
<µ¿Áø½ê¹ÌÄÍ> ÀÌÁØÇõ ºÎȸÀåÀº “´ç½Ã R&D¿Í ¼ÒÀç ±¹»êÈ ¿ª·®¿¡ ÁýÁßÇÏ°í ÀÖ¾ú±â¿¡ ÀϺ»ÀÇ ¹ÝµµÃ¼ Ç°¸ñ ¼öÃâ±ÔÁ¦°¡ ¿ÀÈ÷·Á ¼û°ÜÁø ¿ì¸®ÀÇ ¿ª·®À» ¹ßÈÖÇÏ´Â ±âȸ°¡ µÇ¾ú´Ù”¸ç, “Á÷Á¢ÀûÀÎ ÀϺ» ¼öÃ⠺о߿´´ø ArF Imm’(À̸ÓÀü) ÂÊÀº °³¹ßÀ» ¿Ï·áÇß°í ƯÈ÷ KrF³ª ArF Dry, ArF Imm’±îÁö´Â ´ëµîÇÑ ±â¼ú ¼öÁرîÁö ¿Ã¶ó¿Ô´Ù°í »ý°¢ÇÑ´Ù. Â÷¼¼´ë EUV PRµµ Áö±Ý Àü·ÂÀ» ´ÙÇؼ °³¹ßÇÏ°í ÀÖ´Ù”°í ÀüÇß´Ù.
<¿£¿¡ÇÁ>´Â ÀÇ·á¿ë »ê¼Ò¹ß»ý±â¸¦ Á¦Á¶ÇÏ´Â ±â¾÷À¸·Î, Äڷγª19 »óȲÀ» ±âȸ·Î ¸¸µç ±â¾÷À¸·Î ¼Ò°³¹Þ¾Ò´Ù. ¹ÚÁ¾´ö ÇØ¿Ü»ç¾÷ºÎÀåÀº “ÇöÀç Àεµ µ¨¸®¿¡ Àִµ¥, Àεµ ºÏºÎ¿Í ¼ºÎ¿¡ ÁßÁõ ȯÀÚ°¡ ÆøÁõÇÏ¿© ÀÇ·á ºØ±«°¡ ¹ß»ýÇÏ¿´´Ù”¸ç “5¿ù¿¡ À¯ÇÇÁÖÀÇ ÇÑ ´ëÇк´¿øÀÌ ¾ÆÁÖ ±ä±ÞÇÏ°Ô »ê¼Ò °ø±ÞÀ» ¿äûÇߴµ¥, Çѱ¹¿¡¼ Á¦Ç° 6´ë¸¦ ÁغñÇØÁÖ¾î 150¸íÀÌ ³Ñ´Â ȯÀÚ°¡ Ä¡·á¸¦ ¹Þ¾Ò´Ù”°í ÀüÇß´Ù. ¶ÇÇÑ “ÇØ¿Ü ¼ö¿ä Áõ°¡¿¡ ´ëÀÀÇϱâ À§ÇØ °øÀåÀ» ½Å¼³Çß´Ù”¸ç “Á¤ºÎ¿Í ºÎ»ê½Ã¿¡¼ ¸¹Àº µµ¿ò°ú Áö¿øÀ» ¹Þ¾Ò´Âµ¥, ƯÈ÷ ±ÔÁ¦ »÷µå¹Ú½º¸¦ ÅëÇØ Çѱ¹°Ç°º¸ÇèÀÇ ¼ö°¡ ´ë»ó¿¡ Æ÷ÇÔµÇ¾î ¾ÈÀü¼º°ú ½Å·Ú¼º Ãø¸é¿¡¼ ±²ÀåÈ÷ µµ¿òÀ» ¸¹ÀÌ ¹Þ¾Ò´Ù”°í °¨»çÀÇ ¸»À» ÀüÇß´Ù.
<ÀÎÁöÄÁÆ®·Ñ½º>´Â ¼±Á¦Àû ÅõÀÚ·Î ¼º°ú¸¦ ³½ ±â¾÷À¸·Î ¼Ò°³¹ÞÀ¸¸ç Á¤±¸¿ë ´ëÇ¥ÀÌ»çÀÇ ¹ß¾ðÀÌ À̾îÁ³´Ù. Á¤ ´ëÇ¥´Â “Ãֱ٠ģȯ°æ ÀÚµ¿Â÷ÀÇ ±Þ¼ÓÇÑ µîÀåÀ¸·Î »ê¾÷ºÎÀÇ »ç¾÷ ÀçÆí ÇÁ·Î±×·¥À» µµ¿ò¹Þ¾Æ, ¹èÅ͸® °ü·Ã ºÎÇ°°ú Àü±âÂ÷ ¹èÅ͸® ¿ÂµµÁ¶Àý ½Ã½ºÅÛÀ» °³¹ßÇÏ¿´°í ¼ö¼Ò¿¬·áÀüÁö ÀÚµ¿Â÷¿¡ ÇÊ¿äÇÑ ¿ÂµµÁ¶ÀýÀåÄ¡µµ °³¹ßÇÏ´Â µî ¹Ì·¡ ÀÚµ¿Â÷ ºÎÇ° °³¹ß¿¡ °ø°ÝÀûÀÎ ÅõÀÚ¸¦ ÇÏ°í ÀÖ´Ù”°í µ¡ºÙ¿´´Ù.
2Â÷ ÀüÁö ºÐ¾ß 4´ë ÇÙ½É ¼ÒÀçÀÎ ÀüÇؾ×À» »ý»êÇÏ°í Àü ¼¼°è ÁÖ¿ä ¹èÅ͸®»ç¿¡ ³³Ç° ÁßÀÎ <¿£ÄÍ>ÀÇ À̺´¿ø ÀÌ»ç´Â “Á¤ºÎÀÇ K-¹èÅ͸® Á¤Ã¥¿¡ ÈûÀÔ¾î¼ K-¹èÅ͸®°¡ ±Û·Î¹ú ÃÖ°í°¡ µÉ ¼ö ÀÖµµ·Ï LG¿¡³ÊÁö¼Ö·ç¼Ç ¹× SKÀ̳뺣À̼ǿ¡ ³³Ç°ÇÏ´Â °¼Ò±â¾÷À¸·Î¼ Å©°Ô ±â¿©ÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ÃÖ¼±À» ´ÙÇÏ°Ú´Ù”´Â Æ÷ºÎ¸¦ ¹àÇû´Ù.
<¿¡½º¾Ø¿¡½ºÅØ> Á¤¼öÈ« ´ëÇ¥ÀÌ»ç´Â “¹ÝµµÃ¼ ÇÙ½É Àç·á Áß¿¡ ÇϳªÀÎ ºí·©Å©¸¶½ºÅ©¸¦ ±¹»êÈÇÏ¿´°í ÃÖ±Ù¿¡´Â EUV°¡ »ó´çÈ÷ Áß¿äÇÑ ±â¼ú·Î µî±ØÇÏ°Ô µÇ¾î EUV ºí·©Å©¸¶½ºÅ©, EUV Æ縮Ŭ µîÀ» °³¹ßÇÏ°Ô µÇ¾ú´Ù”¸ç “EUV Æ縮ŬÀ» °³¹ßÇϱâ À§Çؼ ÇÊ¿äÇÑ Àåºñ, ºÎÇ°, ¼ÒÀç, Á¤¸» »õ·Î¿î ¼ÒºÎÀåÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù. ±× ¼Ó¿¡¼ Áö±Ý ÀúÈñµé »ó´çÇÑ ºÎºÐ °³¹ßÀÌ ¿Ï·áµÇ¾î °¡´Âµ¥, ±×µ¿¾È¿¡ ¸¹ÀÌ µµ¿ÍÁֽŠÁ¤ºÎ¿¡ ÀÌ ±âȸ¸¦ ºô·Á¼ Áø½ÉÀ¸·Î °¨»ç¸¦ µå¸°´Ù”°í ÀüÇß´Ù.
<SKÁ¾ÇÕÈÇÐ> ³ª°æ¼ö ´ëÇ¥ÀÌ»ç »çÀåÀº “¼®À¯ÈÇÐ ºÐ¾ß¿¡¼ ¼±µµÀû À§Ä¡¸¦ Â÷ÁöÇØ ¿Ô¾ú´Âµ¥ ÃÖ±Ù¿¡´Â ȯ°æ ¹®Á¦ ÇØ°áÀ» À§ÇÑ Çöó½ºÆ½ ÀçÈ°¿ë ºÐ¾ß¿¡ ÅõÀÚ¸¦ ÁøÇà Áß”À̶ó¸ç “ÆóÇöó½ºÆ½¿¡¼ ´Ù½Ã À¯Àü ¿øÀ¯¸¦ ¸¸µé¾î³»´Â ¿ºÐÇØÀ²À» °³¹ßÇÏ°í Àִµ¥ ¿ì¸®°¡ »ý»êÇÏ´Â Çöó½ºÆ½ÀÇ ¿ø·áÀÇ 100%¸¦ Á÷Á¢, °£Á¢ÀûÀ¸·Î ÀçÈ°¿ëÇÏ´Â ¸ñÇ¥¸¦ °¡Áö°í ÀÖ´Ù”°í ¹àÇû´Ù.
À̳¯ ¼ö¿ä ´ë±â¾÷ ´ëÇ¥·Î ³ª¿Â ÃÖÅ¿ø ´ëÇÑ»ó°øȸÀÇ¼Ò ¼ÒÀåÀº “Áö³ 2³âÀÌ À§±â ±Øº¹ÀÇ °úÁ¤À̾ú´Ù°í »ý°¢Çϸé ÀÌÁ¦´Â ½ÇÁúÀûÀ¸·Î ±Û·Î¹ú °æÀï·ÂÀ» °®Ã糪°¡¾ß ÇÑ´Ù”¸ç “±â¾÷ °£ Çù·Â »ýÅ°踦 ´õ¿í´õ °ÈÇÏ°í, »çȸÀû °¡Ä¡ âÃâ¿¡µµ ´õ¿í´õ ÈûÀ» ¾²µµ·Ï ÇÏ°Ú´Ù”°í ¹ß¾ðÇß´Ù.
ÀÌ¾î¼ Çѱ¹ ¹«¿ª±â¾÷ÀÇ ´ëÇ¥·Î ³ª¿Â Çѱ¹¹«¿ªÇùȸ ±¸ÀÚ¿ ȸÀåÀº “¿ì¸® ±â¾÷µéÀÌ ¼±Áø±¹ÀÇ °ø±Þ¸Á ÀçÆí ±â¾÷À» Àû±Ø È°¿ëÇÑ´Ù¸é Áß±¹ÀÇ Ãß°ÝÀ» ¹°¸®Ä¡°í ÷´Ü »ê¾÷ ºÐ¾ß¿¡¼ ¼¼°è½ÃÀåÀ» ÁÖµµÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î ±â´ëÇÑ´Ù”°í µ¡ºÙÀ̸ç, ±¹³» ÅõÀÚ¿Í ÀÏÀÚ¸®ÀÇ À§Ãà¿¡ ´ëÇØ “Â÷¼¼´ë À¯¸Á »ê¾÷°ú ¼ÒºÎÀå ¿øõ±â¼úÀ» À°¼ºÇϱâ À§ÇÑ ±ÝÀ¶, ¼¼Á¦ Áö¿ø°ú Àη ¾ç¼º¿¡µµ ¾Æ³¦¾øÀÌ Áö¿øÇØ´Þ¶ó”°íµµ Á¦¾ðÇß´Ù.
¸¶Áö¸·À¸·Î ¹® ´ëÅë·ÉÀº “¼ÒºÎÀå¿¡ ´ëÇÑ Áö¿øÀ» ´ëÀÏ ÀÇÁ¸µµ°¡ Å« Ç°¸ñµé¿¡ ´ëÇÑ Áö¿øÀ» ³Ñ¾î, ¿ì¸® ¼ÒºÎÀå »ê¾÷ Àü¹ÝÀ¸·Î È®´ëÇØ¾ß ÇÑ´Ù”¸ç “¿ì¸®ÀÇ ±â¼úÀÌ Æ¯Çã·Î º¸È£¹ÞÀ» ¼ö ÀÖ°Ô Æ¯Çã ºÐÀï¿¡ ´ëÇؼµµ Á¤ºÎ°¡ Àû±ØÀûÀ¸·Î Áö¿øÀ» ÇØ ÁÖ½Ã±æ ¹Ù¶õ´Ù”°í ÀüÇß´Ù. ±×¸®°í ¾ÕÀ¸·Îµµ °æÁ¦°è, ±â¾÷ÀεéÀÇ ¸ñ¼Ò¸®¿¡ ±Í¸¦ ±â¿ïÀÌ¸é¼ ¼ÒºÎÀå »ê¾÷ÀÇ ´õ Å« µµ¾àÀ» À§ÇÑ ´Ù¾çÇÑ Áö¿øÃ¥À» ¸¶·ÃÇسª°¥ °ÍÀ» ¾à¼ÓÇß´Ù.
¹®ÀçÀÎ ´ëÅë·É, ¹Î»ý°æÁ¦Àå°üȸÀÇ ÁÖÀç
¹®ÀçÀÎ ´ëÅë·ÉÀº 7¿ù 29ÀÏ Ã»¿Í´ë¿¡¼ ¹Î»ý°æÁ¦Àå°üȸÀǸ¦ ¿°í “¹æ¿ª»óȲÀ¸·Î ¹Î°£ °æÁ¦È°µ¿¿¡ ¾î·Á¿òÀÌ Ä¿Áú¼ö·Ï Á¤ºÎ°¡ Àû±ØÀû ÀçÁ¤¿î¿µÀ¸·Î ¹Î»ýÀÇ ¹öÆÀ¸ñÀÌ µÇ¾î¾ß ÇÑ´Ù”¸ç ÀÌ°°ÀÌ ¸»Çß´Ù. ƯÈ÷ À̳¯ ¹Î»ý°æÁ¦Àå°üȸÀǴ û¿Í´ë¿¡¼ óÀ½ ¿¸®´Â °ÍÀ¸·Î ¹® ´ëÅë·ÉÀº “Äڷγª »óȲÀÌ ¸Å¿ì ¾öÁßÇÏ°í, °í°µµ ¹æ¿ªÁ¶Ä¡¿¡ µû¸¥ ¹Î»ý °æÁ¦ÀÇ ÇÇÇظ¦ ½Å¼ÓÈ÷ Áö¿øÇϱâ À§ÇØ ¸¶·ÃµÈ °Í”À̶ó°í Àǹ̸¦ ¼³¸íÇß´Ù.
¹® ´ëÅë·ÉÀº “¼Ò»ó°øÀΰú Ãë¾à°èÃþÀÌ °ßµð°í ÀÖ´Â °íÅëÀÇ ¹«°Ô¸¦ ´ú¾îµå¸®´Â ÀÏÀÌ ½Ã±ÞÇÏ´Ù”¸ç “10¿ù ½ÃÇàµÇ´Â ¼Õ½Çº¸»ó Áغñ¿¡ ¸¸ÀüÀ» ±âÇÏ°í, Èñ¸Áȸº¹Àڱݵµ 8¿ù 17ÀÏ ½Å¼ÓÇÏ°Ô Áö±ÞµÇµµ·Ï ½Ã½ºÅÛÀ» Â÷Áú¾øÀÌ ±¸ÃàÇØ¾ß ÇÑ´Ù”°í ´Ù½Ã Çѹø °Á¶Çß´Ù.
¶ÇÇÑ ¹® ´ëÅë·ÉÀº “ÀÏÀÚ¸®°¡ ¹Î»ý°æÁ¦ÀÇ ÇٽɔÀ̶ó¸ç “¿©Çà¾÷, °ü±¤¾÷À» ºñ·ÔÇÑ Äڷγª Ãë¾à¾÷Á¾ Áß½ÉÀÇ °í¿ëÀ¯Áö Áö¿øÀ» È®´ëÇÏ°í û³â¿¡°Ô Äڷγª À§±â°¡ ‘ÀÒ¾î¹ö¸° ½Ã°£’ÀÌ ¾Æ´Ñ ‘ÁغñÀÇ ½Ã°£’ÀÌ µÉ ¼ö ÀÖµµ·Ï ´Ù°¢Àû Áö¿øÀ» ´çºÎÇÑ´Ù”°í ¸»Çß´Ù.
¹® ´ëÅë·ÉÀº “°¨¿°º´ À¯ÇàÀÇ Ãæ°ÝÀÌ »çȸÀÇ °¡Àå ¾àÇÑ °èÃþ¿¡ ÁýÁߵǰí ÀÖ´Ù”¸ç “Àú¼ÒµæÃþ°ú Ãë¾à°èÃþÀ» ´õ¿í µÎÅÓ°Ô Áö¿øÇÏ´Â °ÍÀº ¹°·Ð, ¿ÜȯÀ§±â ¶§Ã³·³ ¾ç±ØÈ°¡ °íÂøµÇÁö ¾Êµµ·Ï Á¤Ã¥Àû ³ë·ÂÀ» ±â¿ïÀÌ°Ú´Ù”°í ¸»Çß´Ù. À̾î, “¿À´Â 10¿ù »ý°è±Þ¿© ºÎ¾çÀǹ«ÀÚ ±âÁØÀÌ Àü¸é ÆóÁöµÇ¸é 5¸¸¿© °¡±¸°¡ Ãß°¡·Î ÇýÅÃÀ» ¹ÞÀ» ¼ö ÀÖ´Ù”¸ç “Àü ±¹¹Î °í¿ëº¸ÇèÁ¦µµ ¿ª½Ã °èȹ´ë·Î Â÷Áú¾øÀÌ ÃßÁøÇÏ°í ÀÖ´Ù”°í ¹àÇû´Ù.
¹® ´ëÅë·ÉÀº Á¤Ã¥¼¹Î±ÝÀ¶ È®´ëÀÇ Á߿伺µµ ¾ð±ÞÇÏ¸ç “½Å¿ëµî±ÞÀÌ ³·°í ¼ÒµæÀÌ ³·Àº ±¹¹Îµéµµ È°¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Â »õ·Î¿î Á¤Ã¥¼¹Î±ÝÀ¶ »óÇ°µéÀ» ÅëÇØ ±ÝÀ¶Á¢±Ù¼ºÀ» ´õ¿í ³ô¿© ÁÖ±æ ¹Ù¶õ´Ù”°í ´ç±¹¿¡ ¸»Çß´Ù. ´õºÒ¾î “½Å¿ëȸº¹À§¿øȸ¸¦ ÅëÇÑ Ã¤¹«Á¶Á¤Á¦µµÀÇ È°¿ëµµ¸¦ ³ôÀÌ°í, ÀϽà ¿¬Ã¼°¡ ÀÖ¾ú´õ¶óµµ ÀÌÈÄ ¼º½ÇÇÏ°Ô ¿¬Ã¼ 乫¸¦ Àü¾× »óȯÇÑ Â÷ÁÖ¿¡ ´ëÇÑ ½Å¿ëȸº¹ Áö¿ø ¹æ¾ÈÀ» ¸¶·ÃÇØ ´Þ¶ó”°í Áö½ÃÇß´Ù. ¸¶Áö¸·À¸·Î ¹® ´ëÅë·ÉÀº Àü ¼¼°èÀûÀ¸·Î ¹°°¡»ó½Â ¿ì·Á¸¦ Ç¥ÇÏ¸ç “±¹¹ÎµéÀÇ Àϻ󿡼 ³ôÀº ºñÁßÀ» Â÷ÁöÇÏ´Â Ç°¸ñÀ» Áß½ÉÀ¸·Î »ýÈ°¹°°¡¸¦ ¾ÈÁ¤½ÃÅ°´Âµ¥ ÁýÁßÀûÀÎ ³ë·ÂÀ» ±â¿ï¿© ´Þ¶ó”°í ¿äûÇß´Ù. |