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IOT±â¹Ý MEMS ȯ°æº¹ÇÕ¼¾¼­·Î ½º¸¶Æ®ÇÑ ¼¼»óÀ» ¸¸µé´Ù ±¹³» ÃÖÃÊ ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ ±â¹ÝÀÇ ÃʼÒÇü ¿Â‧½Àµµ ¼¾¼­¿Â½Àµµ¸¦ °¨ÁöÇÏ´Â ½º¸¶Æ®±âÀú±Í ¿µÀ¯¾Æ ¹× ¿Íº´ ȯÀÚ¸¦ À§ÇÑ »õ·Î¿î µ¹º½ ¼­ºñ½º ¿­´Ù
½Åż· ±âÀÚ  |  tss79@naver.com
ÆùƮŰ¿ì±â ÆùÆ®ÁÙÀ̱â ÇÁ¸°Æ®Çϱ⠸ÞÀϺ¸³»±â ½Å°íÇϱâ
½ÂÀÎ 2022.02.15  11:11:18
Æ®À§ÅÍ ÆäÀ̽ººÏ ¹ÌÅõµ¥ÀÌ ³×À̹ö ±¸±Û msn
   
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  AI, ºòµ¥ÀÌÅÍ·Î ´ëº¯µÇ´Â 4Â÷»ê¾÷ Çõ¸íÀÇ ÇÙ½É ±â¼ú Áß Çϳª°¡ ¼¾¼­´Ù. ±Û·Î¹ú ½ÃÀåÁ¶»ç ¾÷ü ‘Markets and Markets’Àº Àü ¼¼°è »ê¾÷¿ë ¼¾¼­ ½ÃÀåÀ» 2020³â 145¾ï829¸¸ ´Þ·¯(ÇÑÈ­ ¾à 17Á¶ 2,600¾ï¿ø)¿¡¼­ ¿¬Æò±Õ ¼ºÀå·ü 9.23%À» ±â·ÏÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, 2025³â¿¡´Â 225¾ï5,617¸¸ ´Þ·¯(ÇÑÈ­ ¾à 26Á¶ 8,400¾ï¿ø)¿¡ À̸¦ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óÇÏ°í ÀÖ´Ù.


4Â÷ »ê¾÷ÀÌ »çȸ ¸ðµç ºÐ¾ß·Î È®»êµÇ¸é¼­ ¼­ºñ½ºÀÇ À¶·º¹ÇÕÀ» ÅëÇØ ¿ì¸® »ýÈ°ÀÌ Á¡Á¡ ½º¸¶Æ®ÇØÁö°í ÀÖ´Ù. ¼¾¼­´Â ÀÌ·¯ÇÑ À¶·º¹ÇÕµÈ Á¦Ç°¿¡ ¾ø¾î¼­´Â ¾È µÉ °¡Àå Áß¿äÇÑ ÇÙ½É ¼ÒÀç´Ù. ÃÖ±Ù ÃʼÒÇü ±â¼úÀÎ MEMS(Micro Electro Mechanical Systems, ¹Ì¼¼ÀüÀÚÁ¦¾î±â¼ú) ±â¼ú°ú ÇϳªÀÇ Ä¨À¸·Î ¿©·¯ ±â´ÉÀ» ±¸ÇöÇÏ´Â SoC ±â¼úÀÇ ¹ß´Þ·Î °í¼º´ÉÈ­ ¹× ¼ÒÇü°ú ±â¼ú °³¹ßÀÌ ¸Å¿ì È°¹ßÇÏ´Ù. ÀÌ·¸°Ô ¼ÒÇüÈ­µÇ°í ¿©·¯ ±â´ÉÀ» ±¸ÇöÇÏ´Â ¼¾¼­´Â ±× È°¿ëµµ°¡ ±²ÀåÈ÷ ³ô´Ù. À̸¦ È°¿ëÇØ ´Ù¾çÇÑ ÇコÄɾî Á¦Ç°ºÎÅÍ ±âÁ¸¿¡´Â ÀüÇô ¾ø¾ú´ø »õ·Î¿î ½º¸¶Æ® ¼­ºñ½º¸¦ Á¦°øÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÇ¾ú´Ù. ÀÌ·± °¡¿îµ¥ ÃʼÒÇü ÀÏüÇü ¿Â·½Àµµ ¼¾¼­¸¦ °³¹ßÇÏ¿© ȹ±âÀûÀÎ Á¦Ç°À» »ý»êÇÏ°í ÀÖ´Â ‘¢ß¸â½ºÄ¨(MEMSCHIP, ´ëÇ¥ ±è¿µ¹Î)’À̾÷°è °ü°èÀÚµéÀÇ ¸¹Àº ÁÖ¸ñÀ» ¹Þ°í ÀÖ´Ù.

±¹³» ÃÖÃÊ ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ±â¹ÝÀÇ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤À» ÀÌ¿ëÇÑ ÀÏüÇü ¿Â½Àµµ ¼¾¼­ ‘THS20’
¼ÒÇüÈ­, °í¼º´É, ÀúÀü·Â ±â´ÉÀ» ¿Ïº®È÷ ±¸Çö!! 

¢ß¸â½ºÄ¨¿¡¼­ °³¹ßÇÑ ÃʼÒÇü ¿Â½Àµµ ¼¾¼­(Temperature Humidity Sensor)ÀÎ ‘THS20’Àº ±¹³» ÃÖÃÊ·Î ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ ±â¹ÝÀÇ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤À» ÀÌ¿ëÇÑ ÀÏüÇü ¿Â½Àµµ ¼¾¼­´Ù. ¹Ú¸·±â¼úÀ» ÀÌ¿ëÇÑ ¹é±Ý(Pt) Ãø¿Â ÀúÇ×ü ¿Âµµ¼¾¼­¿Í Æú¸®ÀÌ¹Ìµå °¨½À Àç·á¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ IDT±¸Á¶ÀÇ Á¤Àü ¿ë·®Çü ½Àµµ¼¾¼­°¡ Àû¿ëµÇ¾ú´Ù. 4mm by 4.2mmÀÇ ÃʼÒÇü ¼¾¼­Áö¸¸ ÃøÁ¤¹üÀ§°¡ ³Ð°í ÀÀ´ä¼Óµµ°¡ ¸Å¿ì ºü¸£´Ù. ¢ß¸â½ºÄ¨ ±è¿µ¹Î ´ëÇ¥´Â “±âÁ¸ Á¦Ç°°ú ´Þ¸® Á¤Àü¿ë·®Çü ½Àµµ¼¾¼­¿Í ¹é±Ý ¹Ú¸·Çü ¿Âµµ¼¾¼­¸¦ One-Chip, ¼ÒÇüÈ­ÇÏ¿© °íÁ¤¹ÐÈ­¸¦ ±¸ÇöÇß´Ù. ¶ÇÇÑ Metal to Metal Wafer bonding, ÀûÃþÇü Multi-Package ±â¼ú µî Multi-Sensor ÀÎÅÍÆäÀ̽º ROIC(Read-Out Integrated Circuit)¿ÍÀÇ Multi-PKG °øÁ¤±â¼úÀÌ Àû¿ëµÇ¾î ¼ÒÇüÈ­, °í¼º´É, ÀúÀü·Â ±â´ÉÀ» ±¸ÇöÇÑ ½º¸¶Æ® ¿Â½Àµµ º¹ÇÕ¼¾¼­¸¦ Á¤ºÎ R&DÁö¿ø »ç¾÷ µîÀ» ÅëÇØ °³¹ß Áß¿¡ ÀÖ´Ù”°í ¾ð±ÞÇß´Ù.

¢ß¸â½ºÄ¨Àº THS20À» È°¿ëÇÏ¿© ´Ù¾çÇÑ ½º¸¶Æ® ¼­ºñ½º¿Í Á¦Ç°À» Ãâ½ÃÇÒ °èȹÀÌ´Ù. °¡Àå ¸ÕÀú ÀÌ ¼¾¼­¸¦ Àû¿ëÇÑ Á¦Ç°À¸·Î °ð Ãâ½Ã ¿¹Á¤ÀÎ ¿Â/½Àµµ¸¦ °¨ÁöÇÏ´Â ½º¸¶Æ® ¿Â½Àµµ ±âÀú±Í°¡ ÀÖ´Ù. ±âÀú±Í Ä¿¹ö¿¡ ÀåÂøÇÏ¿© ¿Â½Àµµ ¼¾¼­°¡ žÀçµÈ ÀÌ Á¦Ç°Àº ¿µÀ¯¾Æ ¹× ¿Íº´(èÂÜ»)ȯÀÚ°¡ ´ë¼Òº¯À» º¸°Å³ª °í¿Â µîÀÇ ÀÌ»ó ¡ÈÄ°¡ ¹ß°ßµÇ¸é º¸È£ÀÚÀÇ ½º¸¶Æ®ÆùÀ¸·Î Áï°¢ÀûÀÎ ¾Ë¸²À» º¸³»´Â ¼­ºñ½º´Ù. ÀÌ´Â ±âÁ¸¿¡´Â ã¾Æº¼ ¼ö ¾ø¾ú´ø ±â´ÉÀ¸·Î ¿µÀ¯¾Æ º¸È£ÀÚ ¹× ¿Íº´ÀÇ °£º´Àε鿡°Ô ¹ú½áºÎÅÍ Æø¹ßÀûÀÎ °ü½ÉÀ» ¹Þ°í ÀÖ´Ù.

ÇÑ ´Þ¿¡ ¹ö·ÁÁö´Â ÇѸíÀÇ ¿µÀ¯¾Æ¿ë ±âÀú±Í°¡ 300°³, Àü±¹ ¿Íº´(èÂÜ»)ȯÀÚ 32¸¸¸í¿¡ ´ÞÇØ
¿µÀ¯¾Æ ¹× ¿Íº´È¯ÀÚ¸¦ À§ÇÑ ¿Â½Àµµ üũ ½º¸¶Æ® ±âÀú±Í Ãâ½Ã

2016³â °Ç°­º¸ÇèÆò°¡¿ø Åë°èÀÚ·á¿¡ ÀÇÇÏ¸é ±âÀú±Í ¹ßÁø µî °ü·Ã Áúº´À¸·Î º´¿øÀ» ãÀº ¿µ·À¯¾ÆÀÇ ¼ö°¡ ¹«·Á 4¸¸ ¸íÀ̳ª µÇ¸ç, ¸Å³â Áõ°¡ÇÏ°í ÀÖ´Â Ãß¼¼´Ù. ÀÌ¿¡ ±âÀú±Í ¾÷ü¿¡¼­µµ ±â´É¼ºÀ» °­È­ÇÑ Á¦Ç°µéÀ» ÀÕ´Þ¾Æ Ãâ½ÃÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÇÏÁö¸¸ °æÁ¦È°µ¿À» ÇÏ´Â ¿©¼º Àα¸°¡ °è¼ÓÇؼ­ Áõ°¡ÇÏ´Â °¡¿îµ¥, ±Ùº»ÀûÀ¸·Î ¹®Á¦¸¦ ÇØ°áÇÒ ¼ö ÀÖ´Â Á¦Ç°µµ ³ª¿ÀÁö ¸øÇÏ°í ÀÖ´Â Çö½ÇÀÌ´Ù. ÀϹÝÀûÀ¸·Î À¯¾Æ°¡ ÇÏ·ç¿¡ ¾²´Â ±âÀú±Í°¡ 10°³ ÀÌ»ó, ÇÑ ´ÞÀ̸é 300°³ ÀÌ»óÀÇ ±âÀú±Í°¡ ¾²·¹±â·Î ¹ö·ÁÁø´Ù. ¿©±â¿¡ ¿ì¸®³ª¶ó°¡ ÃÊ°í·É »çȸ·Î Á¢¾îµé¸é¼­ ¼ºÀÎ¿ë ±âÀú±Í »ç¿ë·®±îÁö ±ÞÁõÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÇöÀç ±¹³»¿¡¼­ ±âÀú±Í »ç¿ëÀÌ ÇÊ¿äÇÑ ¿Íº´È¯ÀÚÀÇ ¼ö´Â ¾à 32¸¸ ¸í¿¡ ´ÞÇÑ´Ù.

¢ß¸â½ºÄ¨¿¡¼­ °³¹ßÇÑ ½º¸¶Æ® ¿Â½Àµµ ±âÀú±Í Ä¿¹ö´Â ģȯ°æ¿¡ ´ëÇÑ ¹®Á¦ ÇØ°á, ±×¸®°í ‘º¸È£ÀÚµéÀÌ Ç×»ó ¾ðÁ¦ ±âÀú±Í¸¦ °¥¾Æ¾ß ÇÏ´ÂÁö¿¡ ´ëÇؼ­ ½Å°æÀ» ¾²°í ÀÖ¾î¾ß ÇÑ´Ù´Â Á¡’¿¡ Âø¾ÈÇؼ­ ¸¸µç Á¦Ç°ÀÌ´Ù. ÀÌ Á¦Ç°Àº ÀÚü °³¹ßÇÑ ±âÀú±Í Ä¿¹ö¿Í ÃøÁ¤ ¸ðµâ ±×¸®°í ½º¸¶Æ® ¾ÛÀ¸·Î ±¸¼ºµÇ¾î ÀÖ´Ù. ±âÀú±Í ³»¿¡ ¿Âµµ³ª ½ÀµµÀÇ ÀÌ»ó »óȲÀÌ ¹ß»ýÇÏ¸é º¸È£ÀÚÀÇ ½º¸¶Æ®ÆùÀ¸·Î ¾Ë¸²ÀÌ °¡±â ¶§¹®¿¡ º¸È£ÀÚ´Â Æò»ó½Ã¿¡ °³ÀÎÀûÀÎ ¾÷¹«¿¡ ÁýÁßÇÒ ¼ö ÀÖ°í, ¾Ë¶÷ÀÌ ¿ï¸®¸é ¹Ù·Î ±âÀú±Í¸¦ ±³Ã¼ÇÒ ¼öµµ ÀÖ´Ù. ¿µÀ¯¾Æ¿ë°ú ¼ºÀοëÀ¸·Î ±¸ºÐµÇ¾î ÀÖÀ¸¸ç õ±âÀú±Í¿Í ÀÏȸ¿ë ±âÀú±Í ¸ðµÎ »ç¿ëÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù.

¹èº¯ ½Ã ¾Ë¸²±â´É, ȯÀÚ¿Í º¸È£ÀÚÀÇ Á¤½ÅÀû/À°Ã¼Àû °íÅë ȹ±âÀûÀ¸·Î ÁÙ¿©
½Ç½Ã°£ ¿ÂµµÃ¼Å©·Î ȯÀÚÀÇ °Ç°­»óÅ ¸ð´ÏÅ͸µ, ȯÀÚÀÇ È­Àå½Ç ¹èº¯È°µ¿ À¯µµÇÏ¿© ºñ¿ëÀý°¨

¹«¾ùº¸´Ù ±âÀú±ÍÀÇ Á¥Àº »óŸ¦ µû·Î È®ÀÎÇÏÁö ¾Ê¾Æµµ µÈ´Ù´Â °ÍÀÌ °¡Àå Å« ÀåÁ¡ÀÌ´Ù. ¿ä¾ç¿øÀ̳ª ¿ä¾çº´¿øÀÇ °æ¿ì ¿ä¾ç»ç°¡ ȯÀÚÀÇ ±âÀú±Í¸¦ Àü´ãÇؼ­ ±³Ã¼ÇØ¾ß Çϴµ¥, ¼ö½Ã·Î ±âÀú±ÍÀÇ »óŸ¦ È®ÀÎÇؾ߸¸ ÇÑ´Ù. ƯÈ÷ ȯÀÚ¿Í ¿ä¾ç»çÀÇ ¼ºº°ÀÌ ´Ù¸¦ °æ¿ì ȯÀÚ°¡ ´À³¢´Â ¼öÄ¡½ÉÀÌ ¸Å¿ì ³ô´Ù. ¿ä¾ç»çÀÇ ÀÔÀå¿¡¼­µµ À°Ã¼Àû Á¤½ÅÀûÀ¸·Î ¾öû³­ °íÅëÀ» ´À³¢°Ô µÈ´Ù. ÇÏÁö¸¸ ÀÌ Á¦Ç°À» »ç¿ëÇÏ¸é ¾Ë¸²ÀÌ ¿ï¸± ¶§ Áï°¢ÀûÀ¸·Î ±âÀú±Í¸¦ ±³Ã¼ÇÒ ¼ö ÀÖ¾î ȯÀÚ¿Í ¿ä¾ç»ç, ±×¸®°í º¸È£ÀÚ°¡ °Þ´Â °íÅëÀ» ȹ±âÀûÀ¸·Î ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ ¿åâ°ú °°Àº ÇǺΠÁúȯµµ ¿¹¹æÇÒ ¼ö À־ °ü°èÀÚµéÀº ¿ÃÇØ »ó¹Ý±â¿¡ Ãâ½Ã ¿¹Á¤ÀÎ ÀÌ Á¦Ç°¿¡ ¹ú½áºÎÅÍ ¸¹Àº ±â´ë°¨À» º¸ÀÌ°í ÀÖ´Ù.

¼¾¼­°¡ žÀçµÈ ÃøÁ¤±â´Â Å»ºÎÂøÀÌ °¡´ÉÇÏ¿© ¹Ýº¹ÀûÀ¸·Î »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, ±âÀú±Í Ä¿¹ö´Â ¼¼Å¹ ÈÄ Àç»ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ Ãµ±âÀú±Í¸¦ »ç¿ëÇϸé ÀÏȸ¿ë ±âÀú±Í »ç¿ë¿¡ µû¸¥ °æÁ¦Àû ºÎ´ãµµ Å©°Ô °æ°¨ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.

"½º¸¶Æ® ±âÀú±Í °ü·Ã ±âÁ¸ Á¦Ç°µéÀÌ °®°í ÀÖ´ø Àû¿ë ±âÀú±ÍÀÇ ÇѰ輺°ú °¨Áö´É·Â µîÀÇ ¹®Á¦¸¦ ÃÖ¼ÒÈ­ ½ÃÅ°¸é¼­, ¿©·¯ °¡Áö ÀÌÀ¯·Î õ±âÀú±Í »ç¿ëÀ» ¿øÇÏ´Â º¸È£ÀÚµéÀ» À§ÇÑ Á¦Ç°À» °³¹ßÇÏ°Ô µÇ¾ú´Ù. ´ç»çÀÇ ½º¸¶Æ® ±âÀú±Í Ä¿¹ö¸¦ »ç¿ëÇÏ¸é ¸Å¿ì Æí¸®ÇÏ°í ±× È¿°ú¸¦ ±Ø´ëÈ­ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ Ãµ±âÀú±ÍÀÇ »ç¿ëÀº ģȯ°æÀûÀÎ Ãø¸éÀ¸·Î ºÁµµ ¸Å¿ì ÈǸ¢ÇÏ´Ù"

°Ç°­¿¡ ¸¹Àº ÁÖÀǸ¦ ÇØ¾ß ÇÏ´Â ÁßÁõ ȯÀÚ ¹× ¿µÀ¯¾ÆÀÇ °æ¿ì¿¡´Â °Ç°­À» ½Ç½Ã°£À¸·Î È®ÀÎÇÏ´Â ¼ö´Üµµ µÈ´Ù. ½Àµµ üũ¸¦ ÅëÇØ ÀûÀýÇÑ ÇǺΠ½Àµµ¸¦ À¯ÁöÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, ¿Âµµ±îÁö ½Ç½Ã°£À¸·Î üũÇϱ⠶§¹®¿¡ ¿µÀ¯³ª³ª ȯÀÚÀÇ °Ç°­ »óŸ¦ Áö¼ÓÀûÀ¸·Î ¸ð´ÏÅ͸µ ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ÀÌó·³ ¼öÁýµÈ µ¥ÀÌÅÍ°¡ ¸ðÀÌ°Ô µÇ¸é »ç¿ëÀÚÀÇ ¹èº¯È°µ¿ ½Ã°£À» ¿¹»óÇÒ ¼ö ÀÖ°í, ȯÀÚ¸¦ È­Àå½Ç·Î À¯µµÇÏ¿© ±âÀú±ÍÀÇ »ç¿ë ÀÚü¸¦ ÇÇÇÒ ¼öµµ ÀÖ´Ù.

º¹ÇÕ ¼¾¼­ °³¹ß·Î IoT ±â¹ÝÀÇ ´Ù¾çÇÑ È¯°æ ¸ð´ÏÅ͸µ ½Ã½ºÅÛ ±¸ÃàÇØ ³ª°¥ °Í

±è¿µ¹Î ´ëÇ¥´Â ´Ù¾çÇÑ ºÐ¾ß·Î »ç¾÷À» È®ÀåÇØ ³ª°¥ °èȹÀÌ´Ù. ÀÏüÇü ¿Â·½Àµµ º¹ÇÕ ¼¾¼­ Á¦Á¶ ¹× °ø±Þ»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó, ȯ°æ ¸ð´ÏÅ͸µ ½Ã½ºÅÛ, ÀÚµ¿Â÷ ½Ç³» ȯ°æ ¸ð´ÏÅ͸µ ½Ã½ºÅÛ µî ´Ù¾çÇÑ IoT ±â¹ÝÀÇ È¯°æ »ê¾÷ ºÐ¾ßÀû¿ëÀ» À§ÇØ ³ë·ÂÀ» °æÁÖÇÏ°í ÀÖ´Ù. ¸¶Áö¸·À¸·Î ±×´Â “¿Â½Àµµ ¼¾¼­¸¦ ±â¹ÝÀ¸·Î Çؼ­ ¼¾¼­ Àü¹® ±â¾÷À¸·Î ¹ßÀüÇسª°¥ °ÍÀÌ´Ù. ±Ã±ØÀûÀÎ °èȹÀº º¹ÇÕ ¼¾¼­¸¦ ¸¸µå´Â °ÍÀÌ´Ù. ¿Â·½Àµµ´Â ±âº»ÀÌ°í °¡½º¿Í ¾Ð·Â µî ´Ù¾çÇÑ È¯°æ Á¶°ÇÀ» ¸ð´ÏÅ͸µ ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¼ÒÇüÈ­ ¼¾¼­¸¦ °³¹ßÇØ °¡Á¤°ú ¿©·¯ »ê¾÷ÇöÀå¿¡ Àû¿ëÇÒ °èȹÀÌ´Ù. Çõ½ÅÀûÀΠȯ°æ ¸ð´ÏÅ͸µ ½Ã½ºÅÛÀ» ±¸ÃàÇÏ¿© ½º¸¶Æ® ÆÑÅ丮, ½º¸¶Æ® ÆÊ µî ´Ù¾çÇÑ »ê¾÷ ºÐ¾ß¿¡ Àû¿ëÇØ ³ª°¥ °ÍÀÌ´Ù”°í ÀüÇÏ¸ç ¾ÕÀ¸·ÎÀÇ ÈûÂù Æ÷ºÎ¸¦ ÀüÇß´Ù.
½Åż· ±âÀÚÀÇ ´Ù¸¥±â»ç º¸±â  
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